 |
|
|
Wafer-Positionierungssensor mit LEDs
|
|
Die HD-T1-Serie ist ein neuer Positionierungssensor für Wafer. Die Benutzung von sicheren LED-Lichtstrahlen erlaubt eine hochpräzise Erkennung mit einer Auflösung von 30µm. Der Sensor ist optimal geeignet, um Wafer-Exzentrizität, Kerben und Laufrichtungsmarkierungen zu erkennen. Mit Hilfe von linearer Bildsensormethodik und Hochgeschwindigkeits-Abtasttechnologie kann eine große Auswahl von Objekten mit einer hohen Genauigkeit bei ultrahoher Geschwindigkeit präzis vermessen werden. Dieser CCD-Sensor wurde für den Gebrauch in nahezu allen Industriebereichen entwickelt, z.B. in der Reifen- oder Halbleiterindustrie (Bedrucken von Halbleiterplatinen).
Besonderheiten:
- Keine Sicherheitsmaßnahmen erforderlich
- Hohe Auflösung von 30µm
- Einfache Installation
- Keine Richtstrahlausrichtung nötig
- Niedriger Stromverbrauch von 70mA oder weniger
- Funktionen zur Anpassung der Lichtstrahlbreite und Spannungsverschiebung
|
|
|
| |
HD-T1030 |
HD-T1C |
| Sensortyp |
Spezial-Optosensoren |
| Tastweite |
30mm |
- |
| Reichweite |
30mm |
- |
| Verschmutzungsgrad |
3 (Industrieumgebung) |
| Temperatur |
0 bis + 40°C 0 bis + 40°C |
| Luftfeuchtigkeit |
35 to 85% RH |
| Fremdlicht |
3,000lx |
- |
| Sendeelement |
Photodiode |
- |
| Betriebsnennspannung |
- |
24V DC ±10% |
| Stromaufnahme |
- |
70mA oder weniger |
| Ansprechzeit |
- |
0.5ms |
| Auflösung |
- |
30µm |
| Linearitätsfehler |
- |
±1.0% F.S. |
| Material |
Gehäuse: ABS, Vorderseite: Glas,Grundrahmen: Aluminium |
Kunststoff |
| Kabel |
0.5m |
- |
| Gewicht. |
150g |
85g |
|
|
|
|
|
Applikationsbeispiel HD-T1
|
Erkennung von Wafer-Exzentrizität und Kerben
|
|
|
|
|
Ionisatoren
Produkte
