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IonisatorenMEMS Beschleunigungs- und Neigungssensor GS1
15 May 2007
Einachsiger kapazitiver MEMS Beschleunigungs- und Neigungssensor GS1
Der GS1 ist ein mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor. Er wurde als Zwei-Chip-Lösung realisiert. Durch das mittels MEMS-Technologie hergestellte Halbleitersensorelement und einem speziell dafür entwickelten ASIC kann das kapazitive Messsignal vom Sensorelement verarbeitet und in ein Spannungsausgangssignal konvertiert werden.
Als Ausgangssignal steht eine der Beschleunigung proportionale elektrische Spannung zur Verfügung. Die Temperaturabhängigkeit ist im Vergleich zu piezoresistiven Beschleunigungssensoren deutlich geringer. Dies erleichtert eine hohe Empfindlichkeit und eine hohe Genauigkeit des Ausgangssignals zu erzielen.
Durch die eingesetzte MEMS-Technologie in der Produktionstechnik kann der GS1 Sensor sehr wirtschaftlich hergestellt werden. Er ist in einem keramischen Gehäuse untergebracht und auch als SMD-Typ verfügbar.
Aufgrund seiner hohen Genauigkeit und Einsatzmöglichkeit innerhalb eines großen Temperaturbereichs (Betriebstemperatur GS1: -40 bis +85 °C), eignet er sich vor allem für Automotive Applikationen, z.B. Navigationssysteme im Fahrzeug (Beschleunigungsmessung), elektronische Vorrichtungen für Kipp- und Überrollschutz (Neigungsmessung).
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 Weiterführende Links |
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Datenblatt GS1 (1.15 MB)
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